当物镜变倍时十字线与描准点偏移大时，重调影像测量仪锁镜筒的螺丝钉，或者换镜筒。当出现被测工作的某一边有暗影时，可调节摄像机或者玻璃四个角上的螺丝，摆正工件。电气故障。常见故障有灯泡不亮、轴流风机不转动、易烧灯泡、易烧保险丝、变压器过热，损坏等。如果影像测量仪电子故障。如电箱按键失灵，可系统总清、换新面膜；如轴不计数，可换滑座或OP板或整个尺、重新接一下信号线、换主机板等。
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当物镜变倍时十字线与描准点偏移大时，重调影像测量仪锁镜筒的螺丝钉，或者换镜筒。当出现被测工作的某一边有暗影时，可调节摄像机或者玻璃四个角上的螺丝，摆正工件。电气故障。常见故障有灯泡不亮、轴流风机不转动、易烧灯泡、易烧保险丝、变压器过热，损坏等。如果影像测量仪电子故障。如电箱按键失灵，可系统总清、换新面膜；如轴不计数，可换滑座或OP板或整个尺、重新接一下信号线、换主机板等。
影像测量仪的精度故障。包括a.x.y轴精度不准、两坐标测量精度差、角度示值误差大、不同平面测量误差大等。应对此类故障，要注意校正和调整。如果想让影像测量仪少发生故障，就要注重平时对仪器进行保养。仪器存放环境相当重要，应放在清洁干燥的房间里，避免光学零件表面发霉、金属零件生锈、尘埃杂物剥落等。件表面要保持清洁，不可以用手触摸，要经常进行清洁。
如果自行拆卸造成仪器故障或精度降低，不属保修范围。影像测量仪是一种光、 电、机体化的精密测量仪器，需要有良好的维护与保养仪器的数据处理器，已对工作台与光学尺的误差进行了补偿，请勿自行更改。否则，会产生错误的测量结果。影像测量仪所有电器接插件一般不要拔 下，如以拔下则必须按标记正确插回并拧紧螺丝。不正确的接插，轻则影像仪器功能，重则可能损坏系统。
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