轮廓仪特点
真正的大量程设计,Z轴传感器的实际量程为12mm,杠杆比仅为1:2.2!1大限度保持了传感器的原有精度,在满量程下Z轴传感器的精度是国内同行的8倍!
右杠杆(装测针端)的长度达280mm!足够长的杠杆在实现同等高度的测量时,摆角小,从而在测量过程中避免零件表面的某部件与测杆的干涉。
Z轴传感器整体结构无任何弹性元件,从而保证无论测针处于任何位置测
轮廓仪

轮廓仪特点
真正的大量程设计,Z轴传感器的实际量程为12mm,杠杆比仅为1:2.2!1大限度保持了传感器的原有精度,在满量程下Z轴传感器的精度是国内同行的8倍!
右杠杆(装测针端)的长度达280mm!足够长的杠杆在实现同等高度的测量时,摆角小,从而在测量过程中避免零件表面的某部件与测杆的干涉。
Z轴传感器整体结构无任何弹性元件,从而保证无论测针处于任何位置测力均是衡定的。国内同行采用了如弹簧等弹性元件,测针位置不同,测力不同,测量时,由于测量力的变化导致杠杆的变形不一致,引起较大的、不可修正的随时测量误差。
这是一个等比数列,后数为前数的1.6倍,那么10以下的钢丝绳一下子只有5种,10到100的钢丝绳也只有5种,即10, 16, 25, 40, 63。但是这样分法太稀疏,雷先生就再接再厉,将10开10次方,得出R10优先数系如下:公比为1.25,于是10以内的钢丝绳只有10种,10到100的也只有10种,这就比较合理了。轮廓仪助力半导体产业大发展晶圆IC减薄后的粗糙度检测在硅晶圆的蚀刻完成后,根据不同的应用需求,需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理,在这个过程中,需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。这时肯定有人说,这个数列,前面的数字好像相差不大,如1.0和1.25,简直没差别嘛,平常我就四舍五入了,但6.3和8.0间隔就大了,这样合理吗?
表面粗糙度测量方法1. 比较法使用于车间现场测量,常用于中等或较粗糙表面的测量。方法是将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。激光轮廓仪原理使用三角反射法测量位移或距离,利用的是简单三角几何关系。2. 这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机,它能自动计算出轮廓算术平均偏差Ra,微观不平度十点高度Rz,轮廓1大高度Ry和其他多种评定参数,测量,适用于测量Ra为0.025~6.3微米的表面粗糙度。

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