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石英挠性加速度计通用服务介绍 航新仪器

石英挠性加速度计通用挠性的材料为温度性能好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料,但造价很高。石英挠性加速度计通用在结构上强行磁极对顶固定,互为对方的反向磁片,在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时,由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩,然后通过换能器将此机械运
石英挠性加速度计通用






石英挠性加速度计通用挠性的材料为温度性能好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料,但造价很高。石英挠性加速度计通用在结构上强行磁极对顶固定,互为对方的反向磁片,在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时,由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩,然后通过换能器将此机械运动转换成电信号,再通过伺服放大器变成电流信号,电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc,与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡,直到再次恢复到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理,研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据,采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后,石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级,零偏漂移量由800μg提高到52μg.



















加速度计是惯性导航系统中不可缺少的器件,加速度计是惯性导航系统中重要的惯性的敏感器件,其输出与运载体的运动加速度成比例或一定的函数关系。因此,加速度计的输出精度直接影响惯性导航系统的精度。加速度计的精度除了设计上的固有特性以及受到制造工艺、内部结构的自身性能影响外,还与测试其精度时所处的环境因素有关。因此,对加速度计而言,环境温度是影响其精度的主要原因。近年来,随着我国事业,工业,环境保护,自动控制等行业的高科技产业化发展,石英挠性加速度计通用的发展也因其体积小,高可靠性,易于集成,可大规模大批量生产等特点处于一个上升阶段。










石英挠性加速度传感器主要有3个重要的部分:石英摆片组件、电容式传感器以及伺服控制系统。根据牛顿第二运动定律,依据力平衡系统,推算出石英摆片所受的力,结合摆片的质量得到运动载体的加速度石英挠性加速度计是具有水平的新型传感器。加速度计用于比力测量,无论惯性导航还是惯性制导都是以加速度计敏感、测量载体运动加速度为基础的。当前国内外导航领域研究的焦点正在向靠拢,不仅对加速度计本身提出了精度要求,更对加速度计标定和测试方法提出了更加严格的要求,标定的准确性关系着加速度计准确数学模型的建立,这与导航和制导精度密不可分。因此研究加速度计的标定方法,提高加速度计数学模型的标定精度,具有重要的现实意义。














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