无尘室 - 概述
无尘室工程 无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，
无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。非单
无尘室工程改造
无尘室 - 概述
无尘室工程 无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，
无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。非单向流：具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流，曾被称为乱流。也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负1面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。15、卫生器具的安装位置卫生器具的安装位置应准确，支、托架安装平整、牢固。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是俗称的1K级别。
一、 了解空气
空气净化 ：去除空气中的污染物质，使空气洁净的行为。
洁净度 ：洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。
洁净室 （区）：需要对尘粒及微生物含量进行控制的房间（区域）。其建筑结构、装备及其作用均具有减少对该房间（区域）内污染源的介入，产生和滞留的功能。
局部空气净化 ：仅使室内工作区域特定局部空间的空气含悬浮粒子浓度达到规定的空气洁净度级别，这种方式称局部空气净化。
单向流 ：沿着平行流线，以一定流速、单一通路、单一方向流动的气流，曾被称为层流。
非单向流 ：具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流，曾被称为乱流。
表1中有关气流速度和换气次数的推荐或参考值，应该说是经验的反映。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。如ISO/DIS 14664-4提出的数值皆明确适用于那类洁净室的；IEST的推荐值亦是被一些权威机构认为仅适用于半导体工厂。由于具体情况变化较大，有的经验值可能已不适合当前的室内尘源控制措施及过滤器效率提高的情况。
2.2对有关推荐或参考值的讨论
近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为：
（1）洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远对流性能；而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，重点在以下三方面开展工作：（1）精que的测量技术及标准测试方法的建立。因此，洁净室的理想自净时间Tr=体积/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少。
（2）末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。7、禁止使用移动开关如果灯具是使用螺口灯头，则螺口灯头的中心簧舌应接控制相线。有的气流速度/换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。当前HEPA/ULPA的效率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8个9以上都可选择。其效率对气流速度的影响除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非单向流情况下，按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式可以得出：
（a）室内发尘量较高时，末级过滤器(参考www.bacclean.com)效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这种情况下，过高的过滤效率是无必要的。
（b）室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响增大。
以上情况可以引用的图1a～1c看出。
此主题相关图片如下：
作图有关数据：
新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3
室内发生量:G1=350个/m3.min
G2=3500个/m3.min
G3=35000个/m3.min
G4=350000个/m3.min
新风量对于全空气量的比率 0.03
当前有的IC工厂其ISO5级（0.3μm）的洁净室，采用FFU系统,带ULPA（99.9995%,0.12μm），出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。2)滚涂中施工人员必须解决好刮涂时干湿相接问题，设计好退场的合理路径，以免产生明显的接缝痕迹。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。
据报道，目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：
≤ISO5级：气流速度0.2～0.5m/s；
ISO6级或5级（非单向流）；换气次数＞200次/h；
ISO7级：换气次数20～200次/h;
ISO8级：换气次数2～20次/h;
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