按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 [1] :(1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净
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按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 [1] :(1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。

(1) 洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高i级别单向流洁净区的面积。

标准的无尘净化车间需要那些净化设备无尘净化车间又称为无尘室或洁净室,指将一定空间范围内,不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间i主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。
标准的净化车间需要那些净化设备
无尘净化车间进风系统:无尘净化车间进风系统要安装,新风过滤箱,净化空调(净化空调要分为初效/中效/高效三个过滤段)末端有高效送风口。有必要时还装有净化增压箱。
净化车间回风系统:
无尘净化车间回风系统要安装,回风口,过滤初效器,中效回风箱。
无尘净化车间缓冲区设备:进入无尘净化车间之前入缓冲区,缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜,空气清新机。
风淋室、货淋室及传递窗:
人和货物进入无尘净化车间须经过,风淋室,货淋室,传递窗主要传递小物品。
净化车间层流罩、洁净棚:在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台,层流罩(FFU),洁净棚(可移式净化工作棚),自净器等。
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