广州帕纳光电科技有限公司----EDWARDS STP-301CB1公司；
机械泵的维护
(1) 建议每月查看旋转泵的油面是否正常油位？是否漏油、缺油，声音是否异常？若是漏油应查明原因，如拧紧排油孔的塞子或更换轴封等，若缺油应及时 补充到正常的油面高度，若噪声大，应检查气镇阀是否处于开启状态？若气镇阀处在开启状态，则应把它关闭。
EDWARDS STP-301CB1公司
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机械泵的维护
(1) 建议每月查看旋转泵的油面是否正常油位？是否漏油、缺油，声音是否异常？若是漏油应查明原因，如拧紧排油孔的塞子或更换轴封等，若缺油应及时 补充到正常的油面高度，若噪声大，应检查气镇阀是否处于开启状态？若气镇阀处在开启状态，则应把它关闭。
爱德华真空泵维修解决方案如下：
（1）提供正确的电动机电压
（2）将电动机起动器过载保护的设置数据与电动机铭牌上的数据进行比较。 如有必要请更正。 如果环境温度较高：可以根据正常电动机电流将设定值提高5％
（3）检查保险丝
（4）修理或更换电动机。 （由技术人员操作）
更换真空泵机油，拆卸真空泵修理缸等部件，如果叶片严重损坏，则需要更换真空泵叶片。确保关闭电机电源，并断开风扇盖。 用手转动电动机和真空泵。 如果手板不动，请从泵上拆下马达，并分别检查真空泵和马达。 如果真空泵被卡住，请维修泵（需要技术人员进行维修和检查）
油扩散泵的维护
(1) 对于具体的扩散泵应按该电镜所带的说明书中规定的时间间隔进行加油和换油。
(2) 电镜若要正常停机或油扩散泵要加油或做其他维护或检修，在关断电镜和油扩散泵的加热电源后，应让循环水机继续运行至少35min之后才能停机，即让泵 内的油温降到70度，才能停止冷却并进行后面的维护或检修。这样既可让泵油、泵体和高压电源等受冷却的部位都能得到充分的降温，尤其重要的是减少泵油的氧化，也可以避免拆卸时人手被。
爱德华真空泵是指使用机械，物理，化学或物理化学方法排空泵送容器以获得真空的设备。 一般而言，真空泵是使用各种方法来改善，产生和维持封闭空间中的真空的装置。 根据爱德华真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两类，即集气泵和输气泵。 广泛用于冶金，化工，食品，电子涂料等行业。
涡轮分子泵的维护
(1) 涡轮分子泵在工作时由于电动机转叶高速运转，对其外壳要小心保护，千万 不能有外来碰撞，否则会造成转子同心度偏离或轴承受损等难以修复的故障。
(2)含油轴承或混合轴承的涡轮分子粟分别每隔2和4年就要进行加油或更换润滑脂的维护工作，这样分子泵才能平稳、可靠地长期运行。
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