在过滤器上风侧引入大于等于0.1μm（0.5μm）的粒子，粒子浓度大于3.5×107pc/m3的大气尘或其它气溶胶，在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2～3cm处，以5～20mm/s速度移动，并应注意安装交接处的扫描。货淋室虽然面积大，但是产生的净化噪声是很小的，因此大家不用担心货淋室工作的时候影响我们其他。 3 评定标准，由受检过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成穿透率，对于高效过滤器，不应大于过滤器出厂合格穿透率的2倍，对于D级高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的3倍。 C3.4 污染泄漏测试。有孔洞相通的不同空气洁净度等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。用热球风速计检测等级高的洁净室至等级低的洁净室之间的风速，风速应大于0.2m/s。
垂直单向流是高ji别洁净室应用广泛的一种气流流型。在洁净室内高xioa空气过滤器(或超高xiao空气过滤器)布置在顶棚或侧面，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上送风静压箱和高xiao过滤器的均压作用，使得全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。干净的气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠参混稀释作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气的目的 空气经架空地板回至循环风机，从而形成上送下回的垂直单向流流型。垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。当房间宽度小于等于6m时，也可以在侧墙下部设回风口形成上送下侧回的气流流型，这种方式基本上也属于垂直单向流流型
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