当废水的排放或再用的水质要求较低时，只需用筛除和沉淀等方法去除粗大杂质和悬浮物（常称一级处理）；当要求去除有机物时，一般在一级处理后采用生物处理法（常称二级处理）和消毒；对经过生物处理后的废水，所进行的处理过程统称三级处理或深度处理，如当废水排入的水体需要防止富营养化所进行的去除氮、磷过程即属于三级处理（见水的物理化学处理法）。当废水作为水源时，成品水水质要求以及相应的加工流程随其用途而定。根
臭氧水处理设备
当废水的排放或再用的水质要求较低时，只需用筛除和沉淀等方法去除粗大杂质和悬浮物（常称一级处理）；当要求去除有机物时，一般在一级处理后采用生物处理法（常称二级处理）和消毒；对经过生物处理后的废水，所进行的处理过程统称三级处理或深度处理，如当废水排入的水体需要防止富营养化所进行的去除氮、磷过程即属于三级处理（见水的物理化学处理法）。当废水作为水源时，成品水水质要求以及相应的加工流程随其用途而定。根据实践经验，臭氧发生浓度高于8mg/L时容易达到溶解度要求。理论上，现代的水处理技术，可以从任何劣质水制取任何高质量的成品水。
氧化的微絮凝效应，即 臭氧化可降低达到相同滤后水浊度下的佳混凝剂量，或提高一定混凝剂下的浊度去除率，延长滤池过滤周期。为达到成品水（生活用水、生产用水或可排放废水）的水质要求而对原料水（原水）的加工过程。 臭氧化产生微絮凝的可能机理是［9］：增加水中含氧官能团有机物(如羧酸等)而使其与金属盐水解产物、钙盐等形成聚合体，降低无机颗粒表面NOM的静电作用，引起溶解有机物的聚合作用而形成具吸附架桥能力的聚合电解质，使稳定性高的藻类脱稳、产生共沉淀等。
大量研究表明，臭氧化会改善水的可生化性，增加水中有机营养基质的含量，具体表现为水的生物可同化有机碳(AOC)和可生物降解的溶解性有机碳(BDOC)浓度升高，影响程度也与原水水质、臭氧化条件有关。而且还可以使水中的有机物质、xi菌、病毒等随着浊度的降低而被大量去除，并为滤后消毒创造了良好条件。虽然残余消毒剂可在一定程度上限制管网中的xi菌生长，但在有机营养基质浓度较高时，xi菌仍会再度繁殖，并附着生长在管壁上形成生物膜，增加水中xi菌总数，况且有些xi菌危害性更大，从一定程度上影响自来水的微生物安全性。 目前常规处理工艺去除有害臭氧化副产物的研究很少，更无现成经验可借鉴，这又提出了新的 臭氧化应用问题
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