质谱仪真空泵的保养方法，检查前置真空泵油位：根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在z*低限以上，z*高限以下。如果油位在z*低限或z*低限，打开加油孔，加油至z*高限，如加得过满可从出口放掉点。如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
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质谱仪真空泵的保养方法，检查前置真空泵油位：根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在z*低限以上，z*高限以下。如果油位在z*低限或z*低限，打开加油孔，加油至z*高限，如加得过满可从出口放掉点。如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性不良，应及时清洗离子源。进行离子源操作时需要戴清洁的手套。清洗离子源分为以下三个步骤：取出离子源。停止真空后，拧松真空舱旋钮，拉开舱门，用镊子拔下排斥极挡片，把导线移到左边，把离子源安装杆放在离子源上，用一字螺丝刀把离子源的两个固定螺丝拧松一圈，再用镊子把离子源的固定卡具先向右再向下移动到固定位置，用一字螺丝刀把两个固定螺丝完全拧开，用安装杆取出离子源。
质谱仪的日常维护，气相色谱部分日常维护，载气和流路系统，气相色谱质谱联用仪的载气是高纯的氦气，纯度大于99.999%，并且在测试过程中要有10%的钢瓶气保有量。每天要检查钢瓶压力，压力范围为0.5-0.9MPa，一般为0.6MPa。定期检查分子筛过滤器和捕集阱是否堵塞，堵塞会引起压力波动或升高。更换分子筛过滤器和捕集阱的周期是一年。当基线不稳，噪声变大时是流路系统维护与检查的时期，要及时检查与维护。
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