真空镀膜设备真空泵的选择
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷
磁控溅射镀膜机厂家

真空镀膜设备真空泵的选择
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
真空镀膜设备的正常工作条件
1.环境温度:10~30℃
2.相对湿度:不大于70%
3.冷却水进水温度:不高于25℃
4.冷却水质:城市自来水或质量相当的水
5.供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz,电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;
6.设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。
7.设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。
真空镀膜机保养的重要性
大家都知道,真空镀膜机的运行状况会直接影响镀膜成品的质量,为了更好的运行,要对真空镀膜机进行维护和保养,那么,那么知道真空镀膜机维护和保养的意义吗?下面,小编给大家讲解一下它们的意义。
设备的日常维护保养是在生产中发现不正常现象,尽快解决。发现机械泵油减少要添加,不要认为油要定期才更换,否者到了维护时,泵的转子可能会磨损严重。例如,一些轴承工件转架卡,要更换轴承,否者等到它完全破碎,问题可就大了,可能会出现电机烧毁等问题。
定期维护保养,有些人会问一个日常维护和定期维护的区别?实际上,每个设备都有使用寿命,例如,扩散泵用的硅油,使用寿命为两年左右,我们提早更换,这是浪费吗?不是,在生产中不希望出现设备故障,把日常维护保养和定期维护保养都做好了,不仅延长了设备的使用寿命,还减少了运行故障,提高生产效率。
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