广州帕纳光电科技有限公司----磁悬浮分子泵维修中心；
爱德华新成立的服务中心致力于维修各种干式真空泵，例如iGX、IH、iXH和STP涡轮分子泵，而且其设计符合运营实践要求，包括启用自动化装配线。该中心的运营遵循Edwards的企业卓越标准，包括精益生产方式，从而减少浪费，提。西安服务中心将通过维修和升级Edwards客户的设备、供应备件，以及有需要时进
磁悬浮分子泵维修中心
广州帕纳光电科技有限公司----磁悬浮分子泵维修中心；
爱德华新成立的服务中心致力于维修各种干式真空泵，例如iGX、IH、iXH和STP涡轮分子泵，而且其设计符合运营实践要求，包括启用自动化装配线。该中心的运营遵循Edwards的企业卓越标准，包括精益生产方式，从而减少浪费，提。西安服务中心将通过维修和升级Edwards客户的设备、供应备件，以及有需要时进行再制造来为他们提供协助。
1926年，M.siegbahn在瑞典的大学实验室中开发了一种盘型分子泵，其结构与现代牵引式分子泵相似，泵体上开有螺旋槽，转子为一圆盘。1939年，LE BOLD公司生产制造过两台，直径540mm，槽的尺寸：内侧为22mm×22mm，外侧为22mm×1mm，转速3 700r/min，抽速可达73L/s。
其产品和服务在半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造流程中不可或缺；被应用于日益多样化的工业生产过程，包括电力、玻璃和其他镀膜应用、钢铁和其他冶金工业、制药和化学工业，并用于科学仪器和多种研发应用。
一种14级叶列的立式涡轮分子泵，其转子直径为286mm，转速为12000r/min，抽速为650L/s，开创了立式涡轮分子泵的先河。
当前，现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承定位受力状态好，使用寿命长，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单，所以近些年立式分子泵的发展速度很快。
（作者： 来源：）
