爱德华iH系列真空泵维修
Edward iH series vacuum pump repair
维修型号:iH80、iH600、iH1000等 爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商,集工艺实现技术,材料和服务于一体。爱德华真空泵经长时间使用,已被正面其达到高运行标准。我们的GVDrystar泵能够处理大量粉尘和水蒸汽,在保持高可重复性、高性
爱德华真空泵维修公司

爱德华iH系列真空泵维修
Edward iH series vacuum pump repair
维修型号:iH80、iH600、iH1000等 爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商,集工艺实现技术,材料和服务于一体。爱德华真空泵经长时间使用,已被正面其达到高运行标准。我们的GVDrystar泵能够处理大量粉尘和水蒸汽,在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量,使其拥有了可靠的,同时又具有占地面积小,拥有成本低等优点。
针对各种困难工艺,例如会生成颗粒、可凝结和腐蚀性副产品的PECVD等,IH系列提供极高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速从80到1800立方米/小时,其中iH1800干泵是专为高排量应用而设计的。
爱德华 E2M275 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵●E2M275 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36701935
●E2M275 208-230/460V, 3-ph, 60Hz A36703982
●E2M275 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36701934
●E2M275T3 400V, 3-ph, 50Hz A36718993
型號E1M175E2M175E1M275E2M275電壓vAC220 或 380V 三相真空度mbar7x10-21x10-39x10-21x10-3排氣速度m3/h214214350350消耗電力kw6.56.58.58.5重量kg194200220225

Edwards E2M175 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。 这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。
这种泵能胜任大多数工作,并且可在其正常运行参数范围内,安全地处理非易燃气体和蒸汽。
随产品提供 Ultragrade 70 油。 必须为 PFPE 准备的泵 E2M40FX、E2M80FX 和 E2M175FX 单独采购 Fomblin。
订购信息
爱德华 E2M175 油封式旋片真空泵 Edwards真空泵●E2M175 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36601935
●E2M175 208-230/460V, 3-ph, 60Hz 4 pole A36603982
●E2M175 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36601934
●E2M175FX 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36615935
●E2M175FX 208-230/460V, 3-ph, 60Hz A36616982
●E2M175FX 200/380V, 3-ph, 50/60Hz A36611934
●E2M175T3 220-240/380-415V, 3-ph, 50Hz A36618993




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