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对于用水冷却的涡轮分子泵配套的抽气系统，当关闭电镜的主机或分子泵的电源后，还应让循环水机继续运行l5min以上，才能关闭循环水机的电源。若冷 却循环水机没有自动装置，则应釆用人工，这样才可让泵体中的转子和轴承、电镜中的物镜和高压电源等受冷却的部位都能得到充分降温。
循环冷却水的温
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对于用水冷却的涡轮分子泵配套的抽气系统，当关闭电镜的主机或分子泵的电源后，还应让循环水机继续运行l5min以上，才能关闭循环水机的电源。若冷 却循环水机没有自动装置，则应釆用人工，这样才可让泵体中的转子和轴承、电镜中的物镜和高压电源等受冷却的部位都能得到充分降温。
循环冷却水的温度控制从以上分析可以看出，爱德华真空泵中的水环温度与软化池中的水温之间的差异是导致结垢的重要因素。 因此，增加循环水供应以提高冷却效果是大大降低结垢速度的重要保证。 因此，在循环冷却水运行过程中，有必要监测每个泵的回水温度和回水量，以确保每个泵的正常供水量和回水温度不超过40°C。 供水量可以通过阀门控制。 如果回水温度超过规定，应通过补充低温冷水或使用其他冷却和降温方法来降低软化池中软化水的温度。
定期冲洗泵体。 Edward真空泵的泵体排放闸阀用于定期排放泵中积聚的水。 它还可以利用泵体的水压在运行期间定期冲洗泵中的污垢和炉渣。 防止积垢，而另一侧可以防止水垢到水垢的转换。 爱德华真空泵的结垢问题具有更复杂的生成机理。 正确分析水质指标和运行参数是找到正确预防措施的关键。 除了控制水温和定期冲洗泵外，水处理也是防止泵体结垢的重要组成部分。
因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打， 磁铁的磁性容易，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红 外加热管中的加热丝。当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。
通过测量电离生成的离子或电子的电流而得出气体的压力，这种真空计称为电 离真空计。电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的一种真空测量部件。电子的产生方式有两种：一种方 式是加热金属丝放出热电子（热阴极）；另一种方式是利用等离子体（冷阴极)。
对于维护制造商而言，他们不仅必须具备技术能力，还需要购买一些工厂经常使用的Edward真空泵维修零件，例如雨刮片，碳片，滑动片，旋转片，石墨片和过滤器。 元素。 ，空气滤清器，空气屏障等，以便在修理过程中可以修理爱德华真空泵产品。
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