3.2 白色激光内雕的原理 传统的白色激光内雕的原理主要是利用纳秒脉冲激光器(通常是铭铝石榴石激光的基频,倍频或3倍频),把激光聚焦在玻璃内部,通过扫描实现三维(3D)内雕。要实现激光雕刻,在玻璃中激光聚焦点的激光能量密度必须大于使玻璃破坏的临界值,称为损伤阈值。而激光在该处的能量密度与它在该点光斑的大小有关。对于同一束激光来说,光斑越小所产生的能量密度越大。隔断激光内雕玻璃生产厂家隔断激光内雕玻璃生产厂家 通过聚焦,可以使激光的能量密度在到达要加工区之前玻璃的破坏阈值,而在希望加工的区域则超过这一临界值。脉冲激光的能量可以在瞬间使玻璃受热炸裂,从而产生微米至毫米数量级的微裂纹,由于微裂纹对光的散射而呈白色。通过己经设定好的计算机程序控制在玻璃内部雕刻出特定的形状,玻璃的其余部分则保持原样。
。式中L'为小孔端口到全反镜之间的距离。要实现这一目标,45度放置玻瑞片的小孔孔径是关键的参量。隔断激光内雕玻璃生产厂家隔断激光内雕玻璃生产厂家
如图7所示,给出了我们关于小孔孔径的尺寸与激光器输出光束特性关系的实验研究结果:小孔孔径尺寸选取范围是0.8-1.3mm,全反玻璃片的厚度是1mm。当小孔取得过大孔径尺寸时,就将形成腔内小孔孔径尺寸的光柱振荡,使得激光器在圈2的A, B两侧都输出环形光束,而具有通常调Q激光器输出的光脉冲宽度(约40-50ns),光环粗大,在玻璃样品内打出的点也很粗大;当小孔取得过小时,将使得调腔变得十分困难。即使偶然调整好光子光腔而起振荡,输出的环形光束也会形成具有很多衍射环的结构,并在传输过程中迅速弥散,而不能形成良好的聚焦性。
隔断激光内雕玻璃生产厂家隔断激光内雕玻璃生产厂家
图7各种玻璃片尺寸的输出光束形状
the shape of the output beam when the dimension of the
glass wafer is varied
(作者: 来源:)