苏州制版位于苏州工业园区生物纳米园,是集研究、设计、生产、销售于一体,制作掩膜版的企业,拥有高标准的全净化厂房,优i秀的高素质人才、的研发团队。 苏州制版,面向中小企业、大学、研究所客户,提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版!常见的图案包括光标、光刻对准图案和曝光
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灯光控制图形、测试关键图形、光学对准目标图形、划线槽图形以及其他LOGO名称、版本等。根据客户的构想、草图,独
掩膜版
苏州制版位于苏州工业园区生物纳米园,是集研究、设计、生产、销售于一体,制作掩膜版的企业,拥有高标准的全净化厂房,优
i秀的高素质人才、的研发团队。 苏州制版,面向中小企业、大学、研究所客户,提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版!常见的图案包括光标、光刻对准图案和曝光
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灯光控制图形、测试关键图形、光学对准目标图形、划线槽图形以及其他LOGO名称、版本等。根据客户的构想、草图,独
i家定制版图提供技术咨询服务!
苏州制版提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版,目前投入生产有多台激光直写设备以及电子束曝
i光设备。常规铬版CD精度±0.2um,高精石英铬版精度±0.07um。菲林版分辨率20um以上精度±2um。曝i光设备外,还拥有全自动显影柜,可以批量进行显影处理,保证生产能力。曝
i光设备外,还拥有全自动显影柜,可以批量进行显影处理,保证生产能力。在图形检验阶段我们拥有自动光学检验机台(AOI),通过图形逻辑对比分析取样,修补能力1.2um,精度±0.1um。可以有效地排除缺陷问题。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
菲林在使用中需注意的事项
菲林密度分高密和低密两种。低密是指胶片冲洗后完全未曝
i光处的密度,一般在0.05左右。低密值越低越能使胶片清晰通透,晒版网点质量好。据统计:根据SEMI,目前半导体光刻掩膜版市场规模近34亿美元,即210亿人民i币。高密指胶片经曝
i光处冲洗后的实地密度。一般铜版纸印刷所用的晒版菲林要求高密值不3.5,通常在3.5~4.5,这样可以保证菲林上的图像信息在晒版时很好地转移到印版上。新闻纸和胶版纸印刷(含地图纸)时,因纸张吸墨性特强和印速高等原因,其高密可适当降低。
光致抗蚀剂也被称为光致抗蚀剂。
掩模板上的图案被转移到晶片表面顶层的光致抗蚀剂上,并且在后续工艺中保护下面的材料(蚀刻或离子注入)。光致抗蚀剂由光敏树脂、光引发剂、添加剂、溶剂等组成。
其中,光敏树脂是光刻胶的关键成分。
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