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旋片真空泵厂家销售

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(4) 扩散喷射泵:它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种形式。
(5) 离子传输泵:它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。
气体捕集泵
这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式。
吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵
吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。
真空蒸镀
在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。
真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
真空系统常用名称
①主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
②前级泵:用于维持某一真空泵前级压强其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
③粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
罗茨转子由0°到360°的抽气过程。在0°位置时(图a),进排气道关闭,吸气腔与排气腔沟通,泵腔内压力均衡相等。当两个转子旋转到50°时(图b),形成负压腔,进气道打开,正压腔压力逐渐提高。工作过程中,此位置是转子正好处于换向泵腔压力平衡的瞬间,转子从该位置再转过一定角度,则转子开始密封分割为吸气腔与压缩排气腔两部分,此时开始做功。此位置进气口打开,随着转子的继续旋转负压腔容积逐渐增大开始吸气,排气腔容积逐渐减小,由于排气口尚未打开,因此气体被压缩,压缩量随排气口上线位置的变化而变化。当转子旋转到155°时,此时负压腔继续进气,排气道打开,开始排气。此位置时泵的吸气做功继续进行,排气口开始打开,被压缩的气体排入下一级泵腔。当转子旋转到312°时,进排气口关闭。此位置转子做功以完成一个周期,此时泵腔内压力逐渐恢复均衡状态。(图d)此位置又回到初始位置,随着泵转子的连续旋转,吸气和排气过程循环进行,实现了泵的连续抽气做功,实现了抽真空的目的。转子没转一周,吸气和排气各进行一次。
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