在外加高压电场作用下，逸出电子和自由电子被加速获得很高能量。高能电子运动中与气体分子、原子发生非弹性碰撞，其动能转换成基态分子（原子）的内能，引发超激发、离解和电离等过程，形成等离子体，一方面其内部巨大的电场作用，对细菌细胞膜构成严重击穿和破坏；另一方面打开气体分子键，生成一些单原子分子和负氧离子、OH离子和自由氧原子等自由基，具有活化和强氧化能力，激发态粒子又能辐射紫外线，这就
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在外加高压电场作用下，逸出电子和自由电子被加速获得很高能量。高能电子运动中与气体分子、原子发生非弹性碰撞，其动能转换成基态分子（原子）的内能，引发超激发、离解和电离等过程，形成等离子体，一方面其内部巨大的电场作用，对细菌细胞膜构成严重击穿和破坏；另一方面打开气体分子键，生成一些单原子分子和负氧离子、OH离子和自由氧原子等自由基，具有活化和强氧化能力，激发态粒子又能辐射紫外线，这就是等离子体消毒的机理。利用此原理在针状或丝状电极上加上高压发生电晕放电，产生大范围稳定的等离子体进行杀灭细菌、病毒、分解有害有机物。
蒸汽消毒法分为流动蒸汽消毒法和高压蒸汽消毒法两种。流动蒸汽消毒法是指在常压下蒸汽温度为100度，消毒时间为1030分钟的消毒方法。其效果与煮沸消毒基本相同。这种消毒方法适用于家庭和设备简陋的小餐馆。高压蒸汽消毒法是指当压力后，水的沸点升高，蒸汽的温度也随之上升，利用温度升高的蒸汽进行消毒的方法。在压力高于正常气压的情况下，水的沸点和蒸汽的温度都会高于loo度，这时的高温蒸汽不仅能非芽孢菌，还能芽孢菌和真菌，高压蒸汽消毒法适用于玻璃、陶瓷、金属器皿等餐具，对其他的餐具应慎用。高压蒸汽消毒时也必须先将食具冲洗干净。
对于餐饮具等耐高温高湿的物品来说，单纯的紫外线消毒并不能取得良好的消毒效果，而高温消毒的效果非常可靠。
对于不能耐受高温高温的物品来说，比如纸质文件，可以使用紫外线消毒柜，但不能使用高温消毒柜。
事实上，市场上的餐饮具消毒柜，多数是使用高温、紫外线、臭氧等消毒原理的两两组合，但一般均至少具备高温消毒功能。另外，紫外线消毒柜所用紫外线灯的辐照强度一般都比较高，使用时除了紫外线的辐照之外，同时产生的臭氧也具有很好的消毒功能（只是臭氧需在较高湿度环境条件下才能发挥消毒效果）。
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