一六仪器 测厚仪 多道脉冲分析采集,EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪
应用于电子元器件,LED和照明,家用电器,通讯,汽车电子领域.EFP算法结合精准定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题
定位方式:
1、移动平台:
A、手动(普通和带精密滑轨移动):装配设计不同精准移位
镀层膜厚仪
一六仪器 测厚仪 多道脉冲分析采集,EFP算法 X射线荧光镀层测厚仪
应用于电子元器件,LED和照明,家用电器,通讯,汽车电子领域.EFP算法结合精准定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题
定位方式:
1、移动平台:
A、手动(普通和带精密滑轨移动):装配设计不同精准移位从0.5mm-0.005mm不等,移动的灵动性差距也很大。
B、电动(自动):装配设计不同精准移位从0.2mm-0.002mm不等
但同样的手动或者自动,其定位精准也相差很多。
2、高度定位:
A、手动变焦和无变焦
B、激光对焦和CCD识别对焦
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1~104的原子层或分子层。在此方向上,薄膜具有微观结构。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的,其他的两维方向具有宏观大小。所以,表示薄膜的形状,一定要用宏观方法,即采用长、宽、厚的方法。因此,膜厚既是一个宏观概念,又是微观上的实体线度。
由于实际上存在的表面是不平整和连续的,而且薄膜内部还可能存在着针孔、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要严格地定义和测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。
经典模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念,而是由刚性球的原子(分子)紧密排列而成,是实际存在的一个物理概念。
形状膜厚:dT是接近于直观形式的膜厚,通常以um为单位。dT只与表面原子(分子)有关,并且包含着薄膜内部结构的影响;
质量膜厚:dM反映了薄膜中包含物质的多少,通常以μg/cm2为单位,它消除了薄膜内部结构的影响(如缺陷、针孔、变形等);
物性膜厚:dP在实际使用上较有用,而且比较容易测量,它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系,主要取决于薄膜的性质(如电阻率、透射率等)。
江苏一六仪器有限公司是一家专注于光谱分析仪器研发、生产、销售的高新技术企业。公司位于上海和苏州中间的昆山市城北高新区。我们的研发团队具备十年以上的从业经验,经与海内外多名通力合作,研究开发出一系列能量色散X荧光光谱仪
X射线荧光光谱测厚仪定量分析
利用荧光X射线进行定量分析的时候,大致分为3个方法。一个是制作测量线的方法(经验系数法)。这个方法是测定几点实际的已知浓度样品,寻求想测定元素的荧光X射线强度和浓度之间的关系,以其结果为基础测定未知样品取得荧光X射线,从而得到浓度值。
另一个方法是理论演算的基础参数法(FP法)。这个方法在完全了解样品的构成和元素种类前提,利用计算的各个荧光X射线强度的理论值,推测测定得到未知样品各个元素的荧光X射线强度的组成一致。


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