净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及，ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.
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净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式（1）gao效过滤器顶送（有扩散板和无扩散板）（2）流线型散流器顶送（3）局部孔板顶送（4)侧送。 (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
净化工程适用范围
适用范围：车间、办公室阁墙、钢结构房外墙 维护、装饰建材、活动房办公楼等 岩棉夹芯彩钢板 是由天然的岩石， 高炉铁矿渣等经高温熔化成丝， 再经过固化成型。它具有 600℃的耐火性能，耐火等级达到 A 级。无尘室对室内环境对生产过程的影响如下：（1）对生产过程产生重要影响室内生产环境是制约工业生产，特别是高科技生产能否进行的关键因素之一。它的芯材是不可以燃烧的岩棉。 如有防腐、 防锈工程， 其表面材料可改用不锈钢板面。
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净化工程风量、换气次数、静压差
在洁净室体积确定的情况下，换气次数由该室的送风量决定，而静压差取决于房间的送风量与回风量、排风量的差值。通体砖墙面：清理基层，面层粘贴8厚瓷砖，砖缝预留3mm,采用白水泥抹缝。系统总送风量、新风量、总排风量和对外压差可以通过调整风机频率转速或总阀门开启度来实现，各房间的风量和压力则可通过调整分支管路阀门开度来实现。
实际检测过程中发现，在通过调节支管风阀对某间换气次数不合格洁净室进行送风量调节时，往往会使同一洁净区其余的洁净室送风量改变，即打乱了整个洁净区的风量分配，从而使问题变得更为复杂。另外还常遇到换气次数合格而压差不合格，这种情形在二更常见。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。主要原因在于护围结构气密性较差和回风口栅格不易调节。
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