催化燃烧与直接燃烧净化法一样，均属于热力破坏法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为二氧化碳和水。
但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是较为理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且、能耗低、压降小、所需设备体积小，避免产生氮氧化物。
催化燃烧是使用不同种类的催化剂，利用其可以降低反应活化能的原理，使VOCs在温度
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催化燃烧与直接燃烧净化法一样，均属于热力破坏法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为二氧化碳和水。
但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是较为理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且、能耗低、压降小、所需设备体积小，避免产生氮氧化物。
催化燃烧是使用不同种类的催化剂，利用其可以降低反应活化能的原理，使VOCs在温度比较低的情况下，将其完全氧化为CO2和H2O，一般当温度控制在300℃~450℃的范围内，大部分碳氢化合物可在被其氧化，并且去除率高达98%以上。
两种工艺都可以用于处理烷烃、芳香烃、酮、醇、酯、醚、部分含氮化合物等有机废气。含硫磷类废气会使催化剂，不适合用RCO处理，而如果忽略含硫磷废气燃烧时对设备仪表的少量腐蚀，可以限制性的使用RTO处理。
由于处理温度均＜1150℃，两种工艺都不能用于处理含卤代烃废气以避免产生。部分类似类的废气因为燃烧后生成的固体尘灰会堵塞催化剂或蓄热陶瓷或切换阀密封面，所以RTO和RCO都不能使用。
催化剂由于其催化活性高、起燃温度低，而被广泛应用于VOC消除反应中。Huang等将Pd、Pt、Au、Ag、Rh负载于^y—A1203载体上，用于邻的催化燃烧反应，结果发现在相同的工况下，其催化性能顺序为：Pd>Pt>Ag>Rh>Au;而Jung等同样将Pd、Pt、Ru负载于一A1203之上，察其对的催化燃烧性能，从实验结果的完全转化温度分析，其催化性能顺序为Pt>Ru>Pd，这与Huang的测试结果不一样，说明对于不同的反应物，催化剂所呈现的性能存在一定的差异。
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