定量与误差
每台气相色谱仪分析高纯气体必须做到有相应被测杂质气的敏感度和较好重复性。我们认为在保证上述条件和满足本底要求条件下，仪器的定量误差主要取决于标准气的准确度（可靠性）。对于痕量成分重复测量的相对误差往往比常量分析大的多。对0.1—10ppm浓度的检测重复性（相对误差），在10—20%的相对误差也是较好的；PPT级的杂质气，可以允许有一个数量级之差。在定量方法上都
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定量与误差
每台气相色谱仪分析高纯气体必须做到有相应被测杂质气的敏感度和较好重复性。我们认为在保证上述条件和满足本底要求条件下，仪器的定量误差主要取决于标准气的准确度（可靠性）。对于痕量成分重复测量的相对误差往往比常量分析大的多。对0.1—10ppm浓度的检测重复性（相对误差），在10—20%的相对误差也是较好的；PPT级的杂质气，可以允许有一个数量级之差。在定量方法上都采用了“外标法”，即使用标准气校正。高纯氢气:液氮的用途工业生产中，用压缩液体空气分馏的方法获得液氮，可以用于作为深度制冷剂，由于其化学惰性，可以直接和生物组织接触，立即冷冻而不会破坏生物活性，因此可以用于：（1）迅速冷冻和运输食品，或制作冰品。在实验室可以做到用多种配制标准气方法较正，能得到较高的可靠性。而在实际使用中难度很大，因此在标准气的配制上要求是很严格的。
一、氢气性质
1、氢气是一种无色、无嗅、无l毒、易燃易爆的气体，和氟、氯、氧、一氧化碳以及空气混合均有爆l炸的危险。其中，氢气在空气中爆l炸极限：4.0%-75%（体积）；l小检测浓度色谱检测器l小检测浓度取决于，一是检测器的敏感度。氢与氟的混合物在低温和黑暗环境就能发生自发性爆l炸；与氯的混合比为1：1时，在光照下也可爆l炸。
2、氢由于无色无味，燃烧时火焰没有颜色，肉眼不易察觉，在许多情况下向氢气中加入乙硫醇，以便感官察觉，并可同时付予火焰以颜色。
3、氢虽无l毒，在生理上对人体是惰性的，但若空气中氢含量增高，将引起缺氧性窒息。
4、与所有低温液体一样，直接接触液氢将引起冻l伤。
5、液氢外溢并突然蒸发还会造成环境缺氧，并有可能和空气一起形成爆l炸混合物，引发燃烧爆l炸事故。
三氟化氮主要用途是用作氟化l氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所 HF-OF激光器是化学激光器中有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。
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