氮气充装需要注意要点
氮气充装需要注意的操作规程：
充装后，应检查瓶内压力、密封性、变形、温度等
充装后的气瓶，气瓶检查员应逐只检查瓶内压力，瓶阀与瓶口连接的密封性，瓶体有无变形和泄漏、瓶体温度有无异常升高，气瓶附件，警示标签是否完整，不符合要求时应妥善处理。
气瓶充装员应及时填写充装合格证
气瓶充装员应及时填写“充装合格证”粘贴于气瓶明显部位，并认真填
高纯气体价格
氮气充装需要注意要点
氮气充装需要注意的操作规程：
充装后，应检查瓶内压力、密封性、变形、温度等
充装后的气瓶，气瓶检查员应逐只检查瓶内压力，瓶阀与瓶口连接的密封性，瓶体有无变形和泄漏、瓶体温度有无异常升高，气瓶附件，警示标签是否完整，不符合要求时应妥善处理。
气瓶充装员应及时填写充装合格证
气瓶充装员应及时填写“充装合格证”粘贴于气瓶明显部位，并认真填写充装记录，做到内容完整，字迹清晰。气瓶充装记录保存时间不应少于2年。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃燃爆，有剧度的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
氮气的性质：
1．物理性质
无色无味的气体，密度比空气略小，难溶于水。熔沸点较低，所以工业用深冷或高压方式分离空气制取液态氮，液氮可用作深度冷冻剂。
2．化学性质
由于N2分子中存在叁键N≡N，所以通常情况下具有很大的稳定性，常用作保护气体。但在高能条件下，氮气能发生一些化学反应。
氮的固定：大气中游离态的氮转化为氮的化合物的过程。氮气在闪电过程生成NO；或被与豆类植物共生的根瘤菌转化为NH3。
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