电子束镀膜原理
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制
DZS800型电子束镀膜机定做
电子束镀膜原理
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料，电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发，并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中，可避免坩埚材料的污染，制备高纯薄膜；另外，由于蒸发物加热面积小，因而热辐射损失减少，热效率较高。但结构较复杂，且对较多的化合物，由于电子的轰击有可能分解，故不适合多数化合物的蒸镀。
电子束蒸发镀膜机安装介绍
安装台架：整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上，此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。
机架：碳钢制作，表面喷塑处理，不锈钢面板，支撑真空腔体及真空系统，底下配脚轮，方便移动、定位。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电子束产品行业经验，专注电子束产品研发定制与生产，的电子束产品生产设备和技术，建立了严格的产品生产体系，想要更多的了解，欢迎咨询图片上的热线电话！！！
电子束镀膜机介绍
* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片RF/DC偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）
* 用于反应蒸镀的MFC
* 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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