湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~13
辉光离子氮化炉功率

湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光离子氮化是指利用辉光放电现象使工件表面渗入氮原子的热处理方法。采用的辉光离子氮化炉,以工件为阴极,炉体为阳极,当炉内真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨气,使真空室内压力约为66.65~1333.2Pa。
用于磁控溅射镀膜气体放电的交流电源主要有双极性脉冲(矩形波或正弦波)中频靶电源与射频靶电源两大类别。双极脉冲中频靶电源用于辉光放电。矩形波或正弦波中频靶电源进行1气体辉光放电有很多共同特点
辉光放电有亚正常辉光和反常辉光两个过渡阶段,放电的整个通道由不同亮度的区间组成,即由阴极表面开始,依次为:阿斯通暗区;阴极光层;阴极暗区(克鲁克斯暗区);负辉光区;法拉第暗区;正柱区;阳极暗区;阳极光层。其中以负辉光区、法拉第暗区和正柱区为主体。这些光区是空间电离过程及电荷分布所造成的结果,与气体类别、气体压力、电极材料等因素有关,这些都可以从放电理论上作出解释。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。
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