MBE 分子束外延系统扩展功能介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售MBE产品,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
温度控制器:基底加热
LN2 or CW 冷却系统
超高真空离子泵
反射计:原位光学厚度测控
带自动样
mbe分子束外延批发

MBE 分子束外延系统扩展功能介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售MBE产品,我们公司坚持用户为上帝,想用户之所想,急用户之所急,以诚为本,讲求信誉,以产品求发展,以质量求生存,我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
温度控制器:基底加热
LN2 or CW 冷却系统
超高真空离子泵
反射计:原位光学厚度测控
带自动样品递送装置的Loadlock样品加载系统
分子束外延设备介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司拥有的技术,我们都以质量为本,信誉高,我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对MBE产品感兴趣,欢迎点击左右两侧的在线客服,或拨打咨询电话。
分子束外延设备有很多种。但就其主要结构而论是大同小异的。分子束外延的设备较其他外延技术的设备复杂,要包括超高真空系统努森箱及各种分析仪器。从MBE技术的发展过程看,当初主要是为开发以GaAs为中心的Ⅲ-V族化合物半导体,而后是针对Ⅱ-Ⅵ族和Ⅳ-Ⅵ族化合物半导体,正转向针对Si半导体器件的应用开发。从MBE装置的角度看,逐步从单纯研究用装置向批量生产用装置进展。
MBE系统具备哪些优势?
1. 靶源易蒸发。即使是高熔点的材料,如氧化物,也很容易蒸发。
2. 化学计量比准确。沉积的薄膜和靶材的化学组分几乎完全一样。
3. 污染少。
4. 激光脉冲的重复频率可进行薄膜厚度/生长速率的数字式或非连续性控制。
5. 差分抽气结构,可在非常宽的气压范围内工作。
6. 靶材的交换简单快捷,有利于实现异质外延和多层结构的生长。
7. 结构紧凑,含有许多的技术,如衬底加热和样品或靶材的进样-自锁交换装置等。
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多MBE分子束外延设备的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
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