电子束镀膜设备介绍
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。
电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。
电子束镀膜机的特点/用
DZS500型电子束镀膜机公司
电子束镀膜设备介绍
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电子束蒸镀（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。
电子束镀膜机的特点/用途介绍
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电子束，欢迎新老客户莅临。
产品特点/用途：
设备一体化设计，占地面积小，性能稳定，，使用维护成本低；
适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；
适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。
电子束镀膜有哪些特点？
★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；
★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；
★可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；
★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★可沉积金属（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。
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