磁控溅射系统介绍
想了解更多关于磁控溅射产品的相关资讯,请持续关注本公司。
真空泵和测量装置:
低真空:干泵和convectron真空规
高真空:涡轮分子泵,低温泵和离子规
5.控制系统:
硬件:PLC和计算机触摸屏控制
自动和手动沉积控制
主要特点:
射频电源:基底预先清洗和等离子体辅助沉积
温度控制器:基底加热
线列式磁控溅射镀膜机供应

磁控溅射系统介绍
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真空泵和测量装置:
低真空:干泵和convectron真空规
高真空:涡轮分子泵,低温泵和离子规
5.控制系统:
硬件:PLC和计算机触摸屏控制
自动和手动沉积控制
主要特点:
射频电源:基底预先清洗和等离子体辅助沉积
温度控制器:基底加热
基底传送装置
冷却系统
小型磁控溅射镀膜系统简介
小型磁控溅射镀膜系统适合于溅射镀膜科研、教学与小批量打样,可、低成本的制备多种微纳米厚度的膜层。
具有一体化、占用空间小、灵活的特点,无需380V工业电,无需额外冷水机,采用无油干泵分子泵组,无需操心真空系统和操作间环境泵油污染。
核心部件采用国际,保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。触摸屏控制界面,带来简单、操作方便的体验。
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