激光合成波长纳米位移测量技术解决大范围的纳米位移测量和微运动技术问题。为解决大范围的纳米位移测量和微运动技术问题,浙江理工大学陈本永教授带领的研究团队提出了采用激光合成波长实现大范围纳米位移测量的理论和方法,开发出相关的测试计量装置。该成果的主要为:①提出了利用双频激光合成波长干涉条纹虚细分实现超位移测量的原理;②发明了基于该原理实现(纳米级)
纳米级位移测量

激光合成波长纳米位移测量技术解决大范围的纳米位移测量和微运动技术问题。为解决大范围的纳米位移测量和微运动技术问题,浙江理工大学陈本永教授带领的研究团队提出了采用激光合成波长实现大范围纳米位移测量的理论和方法,开发出相关的测试计量装置。该成果的主要为:①提出了利用双频激光合成波长干涉条纹虚细分实现超位移测量的原理;②发明了基于该原理实现(纳米级)大范围(毫米量程)位移测量的新方法;为了实现光学级的确定性超精密加工,机床必须具有纳米级重复定位精度的刀具运动控制。③研制出在同一干涉仪中直接实现大范围纳米位移测量的新型测试计量装置。
将细胞、蛋白质、病原体、病毒、DNA等用纳米级的磁性小颗粒来标记,也就是磁化这些被探测的对象,再用高灵敏度的GMR磁阻传感器来探测它们的具体位置。这种应用方式在医学及临床分析、DNA分析、环境污染监测有非常重要意义。
基于TMR效应的自旋阀生物磁传感器与传统电化学分析、压电晶体检测方法相比具有精度高、体积小的优势,主要用于病变部位的非接触式探测、室温心磁图检测、生物分子识别分析等。
磁性传感器还可用于准备样本的简单离心机,它用来帮助控制小型电机,使其变得更加安静和可靠。在助听器领域,应用了巨磁阻传感器IC (GMR)与霍尔。
随着超精密加工和微电子制造技术的迅速发展,对精密测量技术及仪器提出了在毫米级的测量范围内达到纳米级精度的要求,例如超精密数控加工精度已达纳米量级,微电子芯片制造技术已是纳米级制造工艺,因此无论是超精密数控机床的运动测量与定位,还是集成电路芯片线宽等特征尺寸测量、光掩膜制作以及晶圆扫描工作台的运动测量与定位,均需要纳米级精度的精密测量仪器。此外,精密测试计量技术领域中,各种扫描探针显微镜、激光干涉仪、光栅尺和其他位移传感器等也离不开纳米级精度的精密测量仪器的校准或标定。而由焦深公式DOF=K2λ/NA2可知,提高分辨力总是以牺牲焦深为代价的。
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