在外加高压电场作用下，逸出电子和自由电子被加速获得很高能量。高能电子运动中与气体分子、原子发生非弹性碰撞，其动能转换成基态分子（原子）的内能，引发超激发、离解和电离等过程，形成等离子体，一方面其内部巨大的电场作用，对细菌细胞膜构成严重击穿和破坏；另一方面打开气体分子键，生成一些单原子分子和负氧离子、OH离子和自由氧原子等自由基，具有活化和强氧化能力，激发态粒子又能辐射紫外线，这就
餐具消毒机图片
在外加高压电场作用下，逸出电子和自由电子被加速获得很高能量。高能电子运动中与气体分子、原子发生非弹性碰撞，其动能转换成基态分子（原子）的内能，引发超激发、离解和电离等过程，形成等离子体，一方面其内部巨大的电场作用，对细菌细胞膜构成严重击穿和破坏；另一方面打开气体分子键，生成一些单原子分子和负氧离子、OH离子和自由氧原子等自由基，具有活化和强氧化能力，激发态粒子又能辐射紫外线，这就是等离子体消毒的机理。利用此原理在针状或丝状电极上加上高压发生电晕放电，产生大范围稳定的等离子体进行杀灭细菌、病毒、分解有害有机物。
空气消毒机的注意事项：
无论用于静态消毒或动态持续消毒均要求关闭门窗。消毒机进出风口严禁有物品覆盖或遮挡。电源插座必须使用有安全地线的三芯插座。机器内严禁进水，用湿布清洁机器时，须先切断电源。为了达到消毒效果，不可超体积使用。定期检查机器工作状况，如发现异常应立即检修，电器故障应由技术员进行处理。
对于餐饮具等耐高温高湿的物品来说，单纯的紫外线消毒并不能取得良好的消毒效果，而高温消毒的效果非常可靠。
对于不能耐受高温高温的物品来说，比如纸质文件，可以使用紫外线消毒柜，但不能使用高温消毒柜。
事实上，市场上的餐饮具消毒柜，多数是使用高温、紫外线、臭氧等消毒原理的两两组合，但一般均至少具备高温消毒功能。另外，紫外线消毒柜所用紫外线灯的辐照强度一般都比较高，使用时除了紫外线的辐照之外，同时产生的臭氧也具有很好的消毒功能（只是臭氧需在较高湿度环境条件下才能发挥消毒效果）。
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