ZF300热蒸发镀膜机
ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池
钙钛矿热蒸发镀膜机公司

ZF300热蒸发镀膜机
ZF300热蒸发镀膜机是专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的真空室结构。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。
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300C有机无机联合蒸发
主要用途:
用于制备导电薄膜,半导体薄膜,铁电薄膜,光学薄膜等。
系统组成:
该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。
技术指标:
极限真空度:≤6.7×10 Pa
恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;
真空室:Ф400 x400mm圆筒型真空室 ,
蒸发源:1-4个,采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。
蒸发温度:加热温度:室温~1800℃;
蒸发舟在距中心100~160mm的圆周上;蒸发舟可上下升降,调节幅度0~150mm(样品中心与坩埚距离150~300mm);
工作架类型及尺寸:样品托盘直径Φ300mm,其上可放多个直径20mm的小样品;样品托盘具有自转功能,转速在0~20 转/分钟,转速可调;样品托盘可摆角,角度在0~30度可调;
烘烤温度:400℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到700℃)
电阻蒸发源:电压5V,10V,功率2.5KW,水冷电极1~4对
石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999
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派瑞林裂解仪的技术参数
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1.加热方式 :居里点式高频诱导加热
2.样品管 :石英管、内径4.5mm (热裂解室)
3.保温炉 :室温至 200摄氏度
4.热裂解时间 :1秒~99秒
5.保温传输管 :室温至300摄氏度 管长0.7m
6.高周波功率 :48 W
7.流路切换 :电磁阀
8.尺寸(mm)重量 :305(W)×190(H)×465(D)mm18Kg
9.电源 :AC100V7A
10.兼容GC :所有GC(特殊型号除外)
11.可选居里点热箔片裂解温度:1040、920、764、740、670、650、590、500、485、445、423、386、358、333、315、280、255、235、220、170、160℃。
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