特种气体的运输
算出运输量
关于高压气体的运输规则，根据其运输量而有所不同。其运输量，可用如下方法算出。
(1)运输量的计算
运输量的计算是用一个容器的气体充填量乘上车上装载的容器个数。
容器的充填量，压缩气体用米3表示，液化气体用公斤表示。
压缩气体 容器内容积(升)×充填压力(公斤／厘米2 )/1000=米3
液化气体
特种气体公司
特种气体的运输
算出运输量
关于高压气体的运输规则，根据其运输量而有所不同。其运输量，可用如下方法算出。
(1)运输量的计算
运输量的计算是用一个容器的气体充填量乘上车上装载的容器个数。
容器的充填量，压缩气体用米3表示，液化气体用公斤表示。
压缩气体 容器内容积(升)×充填压力(公斤／厘米2 )/1000=米3
液化气体 容器的充填质量(公斤)。
特种气体的分类
特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、shen系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(GasRack)与阀门盘进行供应。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以上分类存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
特种气体的杂质检测和监控
随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从zui早的ppm级已经发展到ppt级。氦气质谱检漏的用方法氦质谱检漏-真空法，真空法首要应用于真空密封功能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
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