显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解,将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面。常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润,然后显影。硅片用去离子水冲洗后甩干。非曝光区的光刻胶由于在曝光时并未发生化学反应,在显影时也就不会存在这样的酸碱中和,因此非曝光区的光刻胶被保留下来。经过曝光的正胶是逐渐溶解的,中和反应只在光刻胶的表面进行,因此正胶受显影液的影响相对比较小。对于负
平面曝光显影加工
显影是在硅片表面光刻胶中产生图形的关键步骤。光刻胶上的可溶解区域被化学显影剂溶解,将可见的岛或者窗口图形留在硅片表面。常见的显影方法是旋转、喷雾、浸润,然后显影。硅片用去离子水冲洗后甩干。非曝光区的光刻胶由于在曝光时并未发生化学反应,在显影时也就不会存在这样的酸碱中和,因此非曝光区的光刻胶被保留下来。经过曝光的正胶是逐渐溶解的,中和反应只在光刻胶的表面进行,因此正胶受显影液的影响相对比较小。对于负胶来说非曝光区的负胶在显影液中首先形成凝胶体,然后再分解,这就使得整个负胶层都被显影液浸透。在被显影液浸透之后,曝光区的负胶将会膨胀变形。
所使用的为水熔性干膜,空气中的湿度对其影响较大。当湿度较大时,干膜的粘结剂在贴膜温度较低时可达到良好的粘结效果。特别南方地区夏季气温偏高,从长期的实践中摸索一套较好的温度控制参数,在20-250C情况下,相对湿度75%以上时,贴膜温度730C较好;相对湿度为60-70%时,贴膜温度70-800C较好;相对湿度为60%以下时,贴膜温度高于800C为好。同样加大贴膜胶辊的压力和温度,也取得较好的效果。

在清洁方面,UV油墨在印刷后会立即放进固化设备中进行固化,因此印品接触杂质不多,可保持产品清洁。而溶剂型油墨在印刷后需很长时间进行干燥,当环境中灰尘较多时,会对产品产生污染。当制作发光标志牌时,往往需要印刷得较厚,需要多次印刷才能达到厚度要求,这时采用传统油墨进行印刷在每一次印刷后都要在烘道中走一次,需要耗费大量时间和能源。而采用UV固化油墨进行印刷,则不需要在烘道中进行烘干,每一次印刷后立即可以固化,进行下一步工序,大大节省了时间和能源。

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