特种气体系统的设计与施工
GMS和GDS系统
气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。
气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。
、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选
特种气体价格
特种气体系统的设计与施工
GMS和GDS系统
气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。
气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。
、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的重点，这样可显著降低整个系统的成本。
特种气体的分类
近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管（LED）、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等行业。主要包括：
1、硅族气体：含硅基的硅i烷类。
2、掺杂气体：含硼、磷、shen等三族及五族原子之气体。
3、蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主。
4、反应气体：以碳系及氮系氧化物为主。
5、金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属。
特种气体的一般概念
临界温度和临界压力。特种气体管道试压1、试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。因为任何气体在一点温度和压力下都可以液化，温度越高，液化所需要的压力也越高，但是当温度超过某一数值时，即使在增加多大的压力也不能液化，这个温度叫临界温度 ，在这一温度下zui低的压力就叫做临界压力，例如：水的临界温度为374.15℃，临界压力为225.65kgf/cm2,氨的临界温度为132.4℃，临界压力为115.2kgf/cm2。
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