精密和超精密加工技术简介
就制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术与制造自动化两大领域。前者包括了精密加工、超精密加工、微细加工，以及广为流传的纳米加工，它追求加工上的精度和表面质量的极限，可统称为精密工程；基于理想平板电容原理设计研发的，被测物体与传感器各自作为一个平板电极。后者包括了设计、制造和管理的自动化，它不仅是响应市场需求、提高生产率、改善
吉林电容测微仪
精密和超精密加工技术简介
就制造技术的技术实质性而论，主要有精密和超精密加工技术与制造自动化两大领域。前者包括了精密加工、超精密加工、微细加工，以及广为流传的纳米加工，它追求加工上的精度和表面质量的极限，可统称为精密工程；基于理想平板电容原理设计研发的，被测物体与传感器各自作为一个平板电极。后者包括了设计、制造和管理的自动化，它不仅是响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是提高产量的有效方式。两者密切联系，许多精密和超精密加工要靠自动化技术才能达到预期目标，而不少制造自动化则有赖于精密加工才能达到设计要求。
随着科学技术的发展，工业生产需要人们对微位移测量的精度和定位的精度提出更高的要求。在众多的测量仪器当中，非接触式测量仪器由于其自身的优点，成为微位移测量领域的主流研究方向之一。而电容测微技术作为非接触式测量微位移的重要手段，具有温度稳定性好、测量范围大、测量精度高、动态响应好、结构简单、稳定可靠、使用方便，并可实现无接触式测量等一系列优点，特别适宜动态、在线检测，并能在特殊环境下工作特别是随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使电容传感器扬长避短，使电容传感器成为一种很有发展前途的传感器，近年来得到了大范围的研究和推广，广泛应用于航天航空技术、精密机械加工以及其他工业测控领域中，主要用来测量各种介质的薄膜厚度、金属微变、微小相对位移、微小孔径及各种截面的形状误差等。但这绝非高新制造技术的全部，作为制造技术的主战场，仍然要靠精密加工和超精密加工技术。尤其能在强光照射、核辐射条件、过载冲击震动等恶劣环境下工作。
在电容微位移测量中，电容位移传感器对微位移的测量越精准、响应速度越快、非线性越小，整体性能就越好。首先由传感器感受微位移的变化，并将其转换成电容量的变化，然后经过信号转换电路将电容量的变化转换成可测的电压信号，然后利用A/D转换器实现信号的采集，由单片机进行信号的处理和传输。超精密测量用电容测微仪电容测微仪的特点是非接触测量，精度高、价格低。终实时显示，并进行线性拟合给出相关数据。
以电容式微位移传感器为基础，利用运算放大器测量电路原理，当恒定频率的正弦激励电流通过传感器电容时，传感器上产生的电压幅值与电容极板间隙成比例关系。主放大器具有高输入阻抗，保证足够大的开环增益以实现运算，其输出为一调幅波，幅值的变化与被测位移变化一一对应。基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度,其精度0。通过全波整流电路、增益滤波电路对放大的被测信号进行解调，进入A/D转换进行数据处理，在单片机的控制下完成数据的显示等过程，提高了输出信号的抗干扰性。
（作者： 来源：）
