根据等离子体激元装置反射的激光的量，就可以得到间隙的宽度和纳米颗粒的运动。假设间隙由于纳米颗粒的运动而改变，使得等离子体激元的固有频率或谐振更接近于激光的频率。在这种情况下，等离子体激元能够从激光吸收更多的能量，并且反射较少的光。
为了在实用设备中使用这种运动感测技术，将黄金纳米颗粒嵌入微观尺度的机械结构中，这是一种由氮化硅制成的类似微型跳台的振动悬臂梁，只有几微米长。即
纳米级位移测量技术应用
根据等离子体激元装置反射的激光的量，就可以得到间隙的宽度和纳米颗粒的运动。假设间隙由于纳米颗粒的运动而改变，使得等离子体激元的固有频率或谐振更接近于激光的频率。在这种情况下，等离子体激元能够从激光吸收更多的能量，并且反射较少的光。
为了在实用设备中使用这种运动感测技术，将黄金纳米颗粒嵌入微观尺度的机械结构中，这是一种由氮化硅制成的类似微型跳台的振动悬臂梁，只有几微米长。即使它们没有运动，这种装置也不会完全静止，而是以高频振动，在室温下随着分子的运动而推挤。电容式传感器ZNX实际的基本包括了一个接收qiTx与一个发射qiRx，其分别都具有在印刷电路板(PCB)层上成形的金属走线。即使振动的振幅很微小，仅移动了亚原子级距离，使用这种新的等离子体激元技术也很容易检测到。同理，通常都采用较大的机械结构进行科学测量并用作实际的传感器；，在汽车和智能手机中探测运动和方位。NIST科学家希望他们这种纳米级测量运动的新方法将有助于进一步小型化许多这样的微机械系统，并提高其性能。
科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。测量技术的程度将成为我国未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键。
其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
超高的定位精度，在超过厘米以上的运动范围内仍能保证纳米以下的定位精度。2016世界机器人大会上，由哈工大机器人集团研制的具备位移反馈传感器的纳米操作机器人引发了人们的关注。
纳米操作机器人具备位置检测传感器，可实现自动可编程运动，并具备多种功能强大的附加模块。与传统机器人相比，纳米操作机器人具有超级灵敏、超等特点，可以在极微小尺度下完成传统机器人无法实现的各种观测、表征和操控作业，堪称“无微不至”。
纳米技术近年来一直是科技发展的制高点之一，加拿大工程院院士、多伦多大学教授孙钰表示，过去的十年微纳机器人取得了巨大进展，在自动化控制、生物医学、纳米制造等领域都有许多重要的研究和突破。
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