1.由不同规格的波折滤网组成,交错放置于内框,减少铝网空隙,起到更好的过滤。
2.对于酸碱或耐高温的环境,可选用不锈钢外框及不锈钢波折网制作。
3.产品具有大风量、阻力小,可重复清洗使用,使用寿命长的特点。
适用场所:应用于空调除油烟机及初级过滤,特殊耐酸、碱、或耐高温之通风过滤。
贴心订制:根据任意需求,为您量身订造贴心产品。
百级洁净棚特点
洁净无尘棚
1.由不同规格的波折滤网组成,交错放置于内框,减少铝网空隙,起到更好的过滤。
2.对于酸碱或耐高温的环境,可选用不锈钢外框及不锈钢波折网制作。
3.产品具有大风量、阻力小,可重复清洗使用,使用寿命长的特点。
适用场所:应用于空调除油烟机及初级过滤,特殊耐酸、碱、或耐高温之通风过滤。
贴心订制:根据任意需求,为您量身订造贴心产品。
百级洁净棚特点:
①可单独使用,也可组合使用。
②与土建式或装配式百级洁净室相比,投资少,见1效快,安装简便,运行费用低。
洁净无尘棚的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。洁净棚一般采用工业铝型材作为框架,四周和顶部都安装有机玻璃,或者防静电网格帘,以达到视觉通透性。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。洁净棚框架一般可分为三种:不锈钢方通、烤漆铁方通以及工业铝型材,顶部及可用不锈钢钢板、烤漆冷塑钢板、防静电网格帘及压克力有机玻璃等材料。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产1佳温度范围为35—45%。
(作者: 来源:)