CF35高温束源炉
为MBE蒸发或升华不同元素和化合物设计的,例如典型的III/V族Al,Ga或In等MBE材料,温度范围在700到1400℃。主要用于薄膜生长和样品制备,但是也可以当作掺杂源(如Si或Be掺杂)使用。 标准灯丝,热唇灯丝,冷唇灯丝和双灯丝加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。每个灯丝套件是由PBN陶瓷环做支撑钽丝缠绕而成的。导线使用镀锡铜绞线或漆包线
CF250真空光学窥镜定做
CF35高温束源炉
为MBE蒸发或升华不同元素和化合物设计的,例如典型的III/V族Al,Ga或In等MBE材料,温度范围在700到1400℃。主要用于薄膜生长和样品制备,但是也可以当作掺杂源(如Si或Be掺杂)使用。 标准灯丝,热唇灯丝,冷唇灯丝和双灯丝加热器可以根据蒸发材料的不同要求制作。每个灯丝套件是由PBN陶瓷环做支撑钽丝缠绕而成的。导线使用镀锡铜绞线或漆包线经数控绕线机编织而成,柔软度高,弯曲半径小。这种绕线式加热器理念确保了坩埚内
沈阳鹏程真空可定制各种常规尺寸高温束源炉。如果您想要了解更多甩带机的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
高温束源炉简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售高温束源炉,我们为您分析该产品的以下信息。
束源炉是一种蒸发镀膜装置是在高真空条件下,通过加热材料的方法,使坩埚中被蒸发物在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。
随着真空镀膜技术的不断发展,对镀膜设备的工艺需求也不断提出更高的要求,尤其在超高温蒸发设备领域更显突出。在超高温状态下所用材料的选用尤为重要,要求在正常高温下炉内气氛清洁,不能给工件带来污染,使用稳定性,温控精度等。
高温束源炉技术特征
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。
高温束源炉,包括机架,其特征在于,包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,底座的上方设置有保护罩,保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,坩埚上设置有所述加热丝,坩埚的外侧设置有屏蔽层,底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。热空气装置包括空压机、加热箱和管道,空压机通过所述管道与所述加热箱连通,加热箱通过管道与所述中空腔连通,空压机产生的空气通过管道进入到加热箱中进行加热,并经管道通入到中空腔中。
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