Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
镀膜涂层
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它能耐酸、碱和，对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。
Parylene不仅电性能，防护性能好，而且生物相溶性也好，它已通过美国FDA论证，满足美国药典生物材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使用的生物材料。
Parylene的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供良好的防潮、防化学和介电保护。涂敷薄膜的摩擦系数低，因而可以应用于需要润滑的地方。
东莞菱威纳米科技有限公司，是一家从事【parylene派瑞林】纳米镀膜加工和技术服务的公司，提供【派瑞林】镀膜工程解决方案商，拥有十多年行业经验，跟一支的技术及管理团队。
（作者： 来源：）
