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PECVD石墨舟按需定制「多图」

材质选用不同,其寿命也不同,氧化时间也会有所区别,一般,材质差的真空炉石墨棒,在经过发热加温的过程中,极速氧化,不,表面氧化后,其凹凸不平,直到断烈,密度高的石墨棒,才是好的选择,如果经济条件允许的情况下,可以考虑选择用进口石墨作原材料,进行加工石墨棒,这样,其寿命大大的增加。如条件不允许,可选择国产高密度的石墨作原材料,其寿命也很,但长度也会受到限制。 对炉头内
PECVD石墨舟






材质选用不同,其寿命也不同,氧化时间也会有所区别,一般,材质差的真空炉石墨棒,在经过发热加温的过程中,极速氧化,不,表面氧化后,其凹凸不平,直到断烈,密度高的石墨棒,才是好的选择,如果经济条件允许的情况下,可以考虑选择用进口石墨作原材料,进行加工石墨棒,这样,其寿命大大的增加。如条件不允许,可选择国产高密度的石墨作原材料,其寿命也很,但长度也会受到限制。




对炉头内外墙中间填充石墨粉的地方要用长铁棍插入其中并很好搅动,因为在通电过程中,常有小部份石墨粉被氧化。搅动后,可使石墨粉中的空隙减少,以后再补充适量的石墨粉。对炉头内外墙也要检查有无裂缝,外墙的裂缝可抹以耐火泥,内墙的裂缝则用石墨扮调成浆仔细抹上。导电电极靠炉内侧的端部表面产生的金刚砂要用铲子铲掉,然后抹上一层石墨浆。







客户所说的四周发白,可以理解成膜厚偏厚,假如建一个基准以77-83为正常膜厚,小于77很多可以理解成红片,大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的,现在客户反应的是偏白,就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。

分析可能原因:

一、温度过高或工艺时间太长

二、高频功率助长了膜的生长

三、前面提到有些客户反应,新舟直接上去使用没有问题清洗后容易出现。因为清洗后我们需要给舟做饱和也就是行业里说的空镀,所以一个好的镀舟工艺非常的重要。



石墨以其优良的热稳定性、耐侵蚀性、耐冲击性、耐酸性等特点而广泛应用于各个领域。据悉,石墨制品行业在我国发展逐渐壮大,基本产品有工业炉高温处理用石墨制品,金刚石工具烧结用石墨制品,有色金属冶炼用石墨制品,机械密封用石墨制品,电子半导体工业用石墨制品,分析仪器用石墨电极、分析坩埚制品。产品广泛应用于机械、模具、纺织、机电、金刚石工具等各行业。




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