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OPTM设备咨询客服

大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询! 测量示例: SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量 半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的
OPTM设备

大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价检查。欢迎新老客户来电咨询!




测量示例:

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量

半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径,有必要隔离晶体管,埋入绝缘膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜,或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 为了绝缘膜的性能和精准的工艺控制,有必要测量这些膜厚度。



















膜厚测试仪的预热   关机超过3个小时开机必做。点击“波数”,将波谱校准片放入仪器,将Ag部分移至十字线中间,镭射聚焦,设定测量时间为6S重复测量次数为30~50次,点击Go键,等待自动连续测量完成。


 膜厚仪在电气安全方面按照要求正常使用仪器,就不会对人造成任何危险或损害。膜厚仪包含传导线电压的元件,它是按照准则的安全条款设计的。必须遵循仪器安全条款和准则有关仪器操作的规定!  电源连接为避免损坏仪器,供电电压必须与膜厚仪铭牌上的电压一致。仪器必须使用三相插头连到一个已接地的插座上。





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