DZS800型电子束镀膜设备
主要用途：
用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。
系统组成:
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。
技术指标：
极限真空度：≤6.7×10 Pa 恢复真空时间：从1×10 Pa抽至
电子束蒸发镀膜机厂家
DZS800型电子束镀膜设备
主要用途：
用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。
系统组成:
系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、计算机系统及安装机台等部分组成。
技术指标：
极限真空度：≤6.7×10 Pa 恢复真空时间：从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min
系统漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；
真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱体前开门，后置抽气系统
e型电子枪：阳极电压：10kv(2套) 坩埚：水冷式坩埚，24穴设计，每个容量11ml
功率：0-10KW可调 电阻蒸发源(可选)
基片尺寸：可放置4″基片一次更换20个样品
样品台：基片可连续回转，转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离350mm加热温度 400°C±1°C
气路系统：质量流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪：监测膜厚显围：0-99μ9999
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——电子束产品供应商，我们为您带来以上信息。
电子束镀膜的应用
作为制备与加工难熔金属的核心技术之一，电子束技术已在高温合金的成型制造与精炼、高温合金的焊接、表面改性以及涂层制备等领域得到了广泛应用，并将不断涉足航空航天以及核工业等各个领域中。此外，随着对高温合金使用性能要求的不断提高以及新型高温合金的开发，电子束技术在高温合金中的应用也面临着新的挑战，因此需要不断开发电子束技术的新方法与新工艺，如将计算模拟的方法与电子束技术相结合能有效指导材料的制备与加工，此外，电子束自动化技术的应用可实现对材料制备与加工过程的准确控制，在降低劳动强度的同时提高材料的使用性能。S枪溅射实际就是锥形磁控溅射靶，阴极靶材为环状锥形，安装在水冷座上。电子束技术与高温合金的发展相互促进，电子束技术在高温合金中的应用也必然朝着较高的效率、低成本、低能耗的方向发展。此外，电子束技术的应用在大幅度提高高温合金的使用性能的同时，使得超高熔点合金的制备与加工成为可能。电子束技术与高温合金的开发紧密结合，不断发展，在高温合金中的应用领域将不断拓宽，应用前景值得期待。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——电子束供应商，我们为您带来以下信息
（作者： 来源：）
