洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。5%擦拭,然后用甲醛熏蒸24小时后通风,连续3次培养无菌方可使用。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的处理器芯片,把生产环境的洁净度控
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洁净厂房空调系统特点
洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。5%擦拭,然后用甲醛熏蒸24小时后通风,连续3次培养无菌方可使用。导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。如今,半导体集成电路的发展突飞猛进,近英特尔公司更是推出了采用32
nm线宽的处理器芯片,把生产环境的洁净度控制推向了。另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24
h运行,这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,这一任务的完成要依赖很高的送风量,是以高能耗为代价的。据了解,目前净化级别高的当属航天航空的航空仓,级别都在1级,航天航空因属于特殊领域,需要的净化空间相对较小,作为对级别要求也非常严肃的生化实验室则需要面积较大的空间。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400
h-1,10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1,100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
无尘车间工程主要包括无尘车间设计、施工和运行管理前后相关的三个环节。质量源于设计,设计是核心。③通过净化工程安装施工进度计划值和实际值的比较,如发现进度的偏差,则必须采用相应的纠偏措施进行纠偏。而净化工程的施工又区别于一般的建筑工程,包括围护结构(俗称“房中房”);空调净化系统;供电、自控、弱电系统;纯水、特气、物料供应系统;废气、废水处理系统及相关设施。运行管理包括:实时检测,人员培训,设备维护,以保证受控的生产科研环境持续符合要求。
三个环节涵盖了空态、静态、动态三个占有状态;环境受控又融合了风险评估、生产认证的概念和程序;加之洁净技术跨行业、跨、跨学科的特点:使之无尘车间工程的难度和复杂性增加。1洁净冷负荷计算夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。因此对于无尘车间工程行业来说,优化设计、现场施工环境的协调与管控、工程相关技术细节的经验积累,对客户需求的理解和实现,以及对设计变更的准备和响应程度等都是衡量无尘车间施工团队能力的重要指标。
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