基于氧化锌(ZnO)的紫外激光器的实现掀起了对于传统的纤锌矿结构的半导体氧化锌(ZnO)材料的新的研究热潮.氧化锌(ZnO)以其优良的综合性能将成为下一代光电子材料,因此对氧化锌(ZnO)单晶的研究有重要的理论和实践意义.目前生长氧化锌(ZnO)的方法有助熔剂法、水热法、气相法和坩埚下降法等等,但所生长的氧化锌(ZnO)单晶的尺寸和质量都有待于提高.氧化锌(ZnO)晶体
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基于氧化锌(ZnO)的紫外激光器的实现掀起了对于传统的纤锌矿结构的半导体氧化锌(ZnO)材料的新的研究热潮.氧化锌(ZnO)以其优良的综合性能将成为下一代光电子材料,因此对氧化锌(ZnO)单晶的研究有重要的理论和实践意义.目前生长氧化锌(ZnO)的方法有助熔剂法、水热法、气相法和坩埚下降法等等,但所生长的氧化锌(ZnO)单晶的尺寸和质量都有待于提高.氧化锌(ZnO)晶体在1975℃同成分熔化,在较高的温度下非常不稳定,不容易由熔体直接生长。目前主要是在尽可能低的温度下用化学气相输运法、水热法和助熔剂法生长。
氧化锌(ZnO)单晶是具有六方晶系纤锌矿型化合物的晶体结构的半导体,其可直接跃 迁,禁带宽度(Eg 3. 37eV)大。此外,与其它半导体材料(GaN :21meV、ZnSe :20meV)相比, 其激子结合能(ZnO :60meV)非常大,因此,可期待将其用作的发光器件材料。氧化锌(ZnO)晶体具有四种晶体结构,闪锌矿结构(与金刚石类似,可看成氧原子FCC排列,4个锌原子占据金刚石中晶胞内四个碳原子的位置);NaC结构;CsCl结构(氧原子简单立方排列,锌原子占据体心位置);纤锌矿结构(六方结构,氧原子层和锌原子层呈六方紧密排列)。
氧化锌(ZnO)晶体具有四种晶体结构,闪锌矿结构(与金刚石类似,可看成氧原子FCC排列,4个锌原子占据金刚石中晶胞内四个碳原子的位置);NaC结构;CsCl结构(氧原子简单立方排列,锌原子占据体心位置);纤锌矿结构(六方结构,氧原子层和锌原子层呈六方紧密排列)。氧化锌(ZnO)与GaN的物理性能非常接近,其晶格失配度很小,是GaN晶体生长zui理想的衬底材料。
氧化锌(ZnO)是一致熔融化合物,熔点为1975℃。由于高温下氧化锌(ZnO)的挥发性很强,传统的提拉法等熔体生长工艺很难获得氧化锌(ZnO)晶体体单晶。目前,氧化锌(ZnO)晶体体单晶的生长方法主要有缓慢冷却法、水热法和气相生长法。氧化锌(ZnO)晶体主要性能参数:透过范围:0.4-0.6 um > 50% at 2mm;晶向:<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5o 尺寸(mm) 25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底。
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