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产品简介

光学分辨率检验板（Optical resolution test board），也叫分辨率力板，该产品根据美军标MIL-STD-150A对比度规格而设计，采用玻璃基底材料的美军标分辨力板，具备分辨率为 228 lp/mm 的USAF 1951图案，它的不同分辨率单元使用对应的组和单元标记，可以通过查表得出它的每个单元对应的分辨率，客户可根据需要选择选用不同基底材料的正片(Piositive，深色i图案，浅色背景)和负片(Negative，深色背景，浅色i图案)。

什么是光刻掩模板

　　在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精i确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，称为光刻掩模版。

　　半导体集成电路制作过程通常需要经过多次光刻工艺，在半导体晶体表面的介质层上开凿各种掺杂窗口、电极接触孔或在导电层上刻蚀金属互连图形。光刻工艺需要一整套（几块多至十几块）相互间能精i确套准的、具有特定几何图形的光复印掩蔽模版。

近似匹配方法:椭圆拟合法其基本思路是对于给定平面上的一-组样本点，寻找一个椭圆，使其尽可能靠近这些样本点。也就是说到，将图像中的一-组数据以椭圆方程为模型进行拟合，使某一椭圆方程尽量满足这些数据，并求出该椭圆方程的各个参数。之后确定的尤佳椭圆的中心即是搜们要确定的靶心。

同心圆标定法与传统张正友标定法比较实验：实验条件:实验中使用1280* 1024pixeI的相机和焦距为12mm的镜头，根据已知的双目测量系统精度分析，合理摆放两摄像机，降低系统结构对视觉测量精度的影响。根据该系统结构设计标靶，使得标靶尽量占满整个视场范围，并且保证边缘信息的质量。因此设计16个位置一致的同心圆构成标靶，相邻圆心距为65mm,一个同心圆由5组黑白相间的圆环组成，每个，圆环环带半径为3mm，圆心点为半径0.5mm的黑色圆点。