掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。
铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。
在刻画时,采用步
光刻版
掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。
铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
Reticle也称为Mask,翻译做光掩模板或者光罩,曝i光过程中的原始图形的载体,通过曝i光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上。制造芯片时用.我们公司做的掩膜版,一般是根据客户的要求做的,客户提供图纸我们加工
光罩,也叫光掩膜版,英文名字叫Mask,是一种由石英为材料制成的,可以用在半导体曝光制程上的母版。 而这种从光罩母版的图形转换到晶圆上的过程,就像机工作一样。我们可以把光刻机想象成机,把母版的图形印到纸张上的过程,就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样,都需要有母版,这个母版在半导体制造上就是光罩。
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