净化工程墙面:
手术室电解钢墙面:采用型钢龙骨骨架,面层安装1.2mm厚,电解钢板,电解钢板背衬12厚石膏板基层,钢板在工厂加工成型,到现场拼装,板与板之间点焊,板缝补原子灰处理,面层喷抗jun漆,墙与顶、墙与墙直角的转角采用圆弧形转角。完成后的墙面为整体无缝。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及,ULSI制程大都采用此种型
不锈钢彩钢板尺寸
净化工程墙面:
手术室电解钢墙面:采用型钢龙骨骨架,面层安装1.2mm厚,
电解钢板,电解钢板背衬12厚石膏板基层,钢板在工厂加工成型,到现场拼装,板与板之间点焊,板缝补原子灰处理,面层喷抗jun漆,墙与顶、墙与墙直角的转角采用圆弧形转角。完成后的墙面为整体无缝。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及,ULSI制程大都采用此种型式。
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净化工程——洁净室
对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
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