特种气体存放
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas R
电子特种气体
特种气体存放
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于特气柜内，再通过管道将气体供应至现场附近的阀门箱，而后再进入制程机台的使用点，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘与制程控制模块联机，以质流流量计控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀门盘进行供应。其间正压吸枪法选用检漏仪吸枪对被检产品外外表进行扫描探查，能够完成漏孔的准确定位。
特种气体管道的施工
主要的施工机具
特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮1刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、手工ya弧焊机、其他辅助工具。灭菌车间周围30-50米内不得有明火作业、变电设备及其他可发生火花的设备或操作。
特种气体的杂质检测和监控
随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从zui早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line)，原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。特种气体的作用：1、做保护介质，通常使用氦气、ya气、氮气用于高纯净、超绝缘、超导等。
（作者： 来源：）
