在生产制造集成ic时,先在圆晶(硅芯片)表层涂光感胶,再用光源穿透掩模板(等于集成ic电路图纸的胶片照片)直射硅片表层,被光源照射的灯光效果胶会产生反映。自此用特殊有机i溶剂洗掉被直射或是未被直射的胶,电路原理图就印到硅片上。此全过程等于木工施工用墨斗施工放样、画线。硅片上带了电路原理图的样图后,就到刻蚀机出场,刻蚀机等于木工的锯子、斧子、木工凿、刨刀。刻蚀机按图工程施工,在硅
光刻板
在生产制造集成ic时,先在圆晶(硅芯片)表层涂光感胶,再用光源穿透掩模板(等于集成ic电路图纸的胶片照片)直射硅片表层,被光源照射的灯光效果胶会产生反映。自此用特殊有机i溶剂洗掉被直射或是未被直射的胶,电路原理图就印到硅片上。此全过程等于木工施工用墨斗施工放样、画线。硅片上带了电路原理图的样图后,就到刻蚀机出场,刻蚀机等于木工的锯子、斧子、木工凿、刨刀。刻蚀机按图工程施工,在硅片表层手工雕刻出三极管和电源电路。
掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。
铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
为了避免掩模对要蒸发的衬底造成损坏,通常在掩模上设置保护膜,并且保护膜由有机材料制成。当保护膜接触要蒸发的基板时,保护膜对要蒸发的基板造成的损害小于掩模对要蒸发的基板造成的损害。
光罩的总体费用,包括石英,光刻胶等原材料的成本,Mask Writer和Inspection等机台的使用成本,另外还有光罩相关数据的生成,包括OPC、MDP等软件授权、服务器使用、和人工开发成本,等等。 对于一款芯片,动辄几十道的光罩,需要如此多的步骤,设备、软件、人员缺一不可,费用昂贵也就不足为奇了。
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