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上海加热样品台供应在线咨询

磁 控 靶 磁控溅射靶是真空磁控溅射镀膜的核心部件,它的重要作用主要表现在以下两个方面 (1)对于表面的镀膜,磁控溅射靶影响着膜层的均匀性与重复性; (2)当膜层材料为贵重金属时,靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料),即该贵重金属的利用率.从靶结构上分为:圆形平面靶/柱状靶/矩形靶/ 常规圆形平面靶规格: 1.靶材尺寸:Ф50m
加热样品台供应






磁 控 靶

磁控溅射靶是真空磁控溅射镀膜的核心部件,它的重要作用主要表现在以下两个方面

(1)对于表面的镀膜,磁控溅射靶影响着膜层的均匀性与重复性;

(2)当膜层材料为贵重金属时,靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料),即该贵重金属的利用率.从靶结构上分为:圆形平面靶/柱状靶/矩形靶/

常规圆形平面靶规格:

1.靶材尺寸:Ф50mm;Ф60mm;Ф75mm;Ф100mm;Ф150mm;可定制各类磁控靶

2.永磁靶(可溅射磁性材料),射频溅射与直流溅射兼容,靶内水冷;

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CF50高温束源炉

CF50高温束源炉是MBE的可加热至1600℃-1900℃。采用外水冷套结构,加热,温度测量控制重复性好,并且可以调节。钽灯丝的优化设计确保了加热稳定性,即使在极限温度下也可以具有很长的使用寿命。用于低蒸汽压的元素和化合物材料薄膜沉积,例如Fe,Cr,Ni,Co,Au,Ge等材料,以及表面科学分析和磁性或氧化物薄膜沉积。(2)当膜层材料为贵重金属时,靶的结构决定着靶材(形成薄膜的材料),即该贵重金属的利用率。

沈阳鹏程真空可提供定制各种尺寸高温束源炉。如有需求,欢迎拨打图片上的热线电话!




水冷铜电极介绍

水冷电缆电极是一种中空通水,用于大电流加热设备的特种电缆,通常由电极(电缆头)、导线、外护套管三部分组成。

普通水冷电缆电极使用铜管及铜排焊接而成,与设备连接不紧密;导线采用铜裸线绞制,弯曲半径大;外护套管使用普通橡胶软管,耐压低;套管与电极采用普通卡箍紧固,密封性不好,易漏水。水冷电缆电极采用整体铜棒车、铣加工而成,表面做钝化或镀锡处理;200mm2标称截面积的试验拉力为15KN,在此基础上,水冷电缆标称截面积每增加100mm2,试验拉力值相应增,加5KN。导线使用镀锡铜绞线或漆包线经数控绕线机编织而成,柔软度高,弯曲半径小;外护套管使用具有加强夹布层的合成橡胶管,耐压高。套管与电极使用紫铜卡箍在设备上冷挤压紧固,密封性好,不易漏水。

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溅射靶材的作用是什么?

溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子 ,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。想要了解更多水冷铜电极的相关内容,请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。






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