基板S沿图中X轴方向移动,由CXD影像处理器22撷取视野内影像,CCD影像处理器22根据该影像计算偏移量,即,基板S边缘Rl与CCD影像处理器22的边缘R2之间的偏移量Λ y,并将该偏移量的信息提供给驱动装置23,驱动装置23根据接收到的偏移量的信息提供相应的输出量,带动与驱动装置23的输出端连接的边缘曝光机21沿Y轴方向移动,与基板S边缘Rl对齐,从而进行准确的边缘曝边。
覆盖能力与蚀刻件表面状
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基板S沿图中X轴方向移动,由CXD影像处理器22撷取视野内影像,CCD影像处理器22根据该影像计算偏移量,即,基板S边缘Rl与CCD影像处理器22的边缘R2之间的偏移量Λ y,并将该偏移量的信息提供给驱动装置23,驱动装置23根据接收到的偏移量的信息提供相应的输出量,带动与驱动装置23的输出端连接的边缘曝光机21沿Y轴方向移动,与基板S边缘Rl对齐,从而进行准确的边缘曝边。

覆盖能力与蚀刻件表面状态,特别是表面的清洁度有很大关系,相同的基体材料在相同的蚀刻液中施蚀刻时,光洁度好的基体表面上覆盖能力要比粗糙而不洁的基体表面好。原因是光洁的蚀刻件表面其实际电流密度高,电流均匀,易于达到金属的析出电位。特别是蚀刻件表面碍蚀刻层处理不触底,表面存在未除尽污渍、油膜或成相膜层等,将妨碍蚀刻层在表面沉积导致蚀刻层架在薄油膜上,或被局部绝缘,覆盖呢你下降。
工件经前处理合格后,即可进行氧化。在该工序中主要控制氧化电流及氧化时间,保证批量产品氧化质量的一致性。
①生产中必须保证导电极杆和电接头光洁干燥,确保导电性能良好。
②每天检查设备完好情况,保证工作缸溶液都处于工艺控制范围。批量生产的氧化缸中H2SO4及All浓度每天都要分析,协助工艺工程师做好氧化缸的调节工作。

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